Zirkonyumni sepish maqsadi

Zirkonyumni sepish maqsadi

Zirkonyumni püskürtme maqsadlari, odatda, dasturga, uskunaning mosligiga va ishlab chiqarish jarayoniga qarab turli o'lchamlarda bo'ladi. Quyidagi standartlashtirilgan va moslashtirilgan o'lcham diapazonlari mavjud: Sirkulyar zirkoniy nishonlar (Asosiy o'lcham) Diametri: 2 dyuym (50,8 mm) - Kichik eksperimental uskunalar va nozik qoplama tizimlari uchun mos bo'lgan minimal keng tarqalgan o'lcham 3 dyuym (76,2 mm) - Yarimo'tkazgichlar va optik qoplamalar uchun standart o'lchamlar, magnit sanoatida keng qo'llaniladi. mm) — Sanoatdagi ommaviy ishlab chiqarish uchun asosiy oʻlcham, muvozanatlash samaradorligi va xarajati 6 dyuym (152,4 mm) — Odatda yuqori{9}}oʻtkazuvchanlikdagi ishlab chiqarishda qoʻllaniladi, katta{10}}joy qoplamasi ehtiyojlariga mos keladiph200 mm – ph600 mm — Qoʻllab-quvvatlanadigan katta-katta{13}}oʻlchamli, moslashtirilgan energiya panellari va ixtisoslashtirilgan panellar kabi parametrlar: mm3. – 10 mm — Eng keng tarqalgan qalinlik diapazoni, balanslovchi materialdan foydalanish va purkashning bir xilligi. 12 mm – 40 mm — Yuqori-quvvat yoki uzoq{20}}umrli{20}}dasturlar uchun, masalan, tadqiqot darajasidagi yoki uzluksiz ishlab chiqarish tizimlari uchun. Toʻgʻri burchakli/tekislik nishonlarOʻlcham oraligʻi: 100 mm. mm × 50 mm dan 500 mm × 150 mm gacha — sanoat{29}}darajadagi planar nishonlar, yirik PVD uskunalari uchun mos. Qalinligi: Odatda 5 mm – 15 mm, taglik o‘lchamiga va purkashning bir xilligi talablariga muvofiq sozlangan. Chizmalarga muvofiq sozlash mumkin, jumladan:: tartibsiz, {4 konturli fantas} qalinligi (<2 mm ultra-thin targets or >50 mm qalinlikdagi nishonlar) Yuzaki ishlov berish (porloq qoplama, kislotali{1}}yuvilgan qoplama, Ra1,6 mkm sayqallangan)
So'rov yuborish
Ta'rif
Zirconium Sputtering Target

Mahsulot nomi: Zirkonyum purkash maqsadi

Materiallar darajasi: Zr702 (ASTM B493 darajasi R60702)

Soflik darajasi: 99,95% (3N5) ​​Metall-asosli (Hf-bepul)

Asosiy ilovalar: ilg'or yarimo'tkazgichli qadoqlash, optik qoplama, quyosh batareyasining orqa elektrodi, mikroelektron ulanish qatlami (PVD jarayoni)

Ishlab chiqarish standartlari: ASTM B493/B493M-14 (Zirkoniy va sirkoniy qotishmalari uchun spetsifikatsiya) va SEMI M13-1102 (Sputtering maqsadlari uchun umumiy spetsifikatsiya) ga mos keladi.

Zirkonyum purkagichining nazariy zichligi 6,51 g/sm³, uning zichligi 99,0% dan katta yoki unga teng, issiqlik o'tkazuvchanligi 22,6 Vt/m·K, issiqlik kengayish koeffitsienti (20–300 daraja) 5,7 × 1K / 0,0⁶K dir. Bu parametrlar standart tavlangan holatda yuqori-tozalikdagi Zr702 nishonlari uchun oʻlchangan qiymatlar boʻlib, yuqori quvvatli DC/RF magnetronli püskürtme ilovalari uchun mos keladi va 99,9% toza materiallardan yuqori issiqlik barqarorligini namoyish etadi.

Mahsulot yuzasi sifati va mikroyapı talablari:

Don hajmi: 50 mkm dan kam yoki unga teng (o‘rtacha), EBSD (elektron orqaga tarqalish diffraktsiyasi) bilan o‘lchanadi, don hajmi taqsimotining standart og‘ishi bilan 15 mkm dan kam yoki unga teng.

Sirt pürüzlülüğü (Ra): 3D optik profilometr (ISO 4287) yordamida o'lchangan 0,8 mkm dan kam yoki unga teng, tirnalish, chuqurchalar va chuqurchalarsiz.

Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 mm² rad etiladi.

Mikrotuzilma: Bir xil teng oʻqli -fazali tuzilma. SEM (500 × kattalashtirish), teshiklar, qo'shimchalar va segregatsiyasiz.

Barcha maqsadlar 180 MPa dan ortiq yoki unga teng bo'lgan don chegarasining mustahkamligini ta'minlash uchun issiq izostatik presslash (HIP) orqali zichlashtiriladi, bu 500 soatdan ortiq yoki unga teng bo'lgan doimiy chayqalishdan keyin delaminatsiyaning yo'qligi talabiga javob beradi.

High-purity Zr702 sputtering target

 

 

Zirkonyum sepish maqsadi uchun qadoqlash va jo'natish xususiyatlari (GHS va IECga mos keladi):

Ichki qadoqlash: vakuumli muhrlangan (1×10⁻³ mbar dan kam yoki teng) + ASTM F2095 ga mos-tozalikdagi argon (99,999%) bilan to'ldirilgan.

Tashqi qadoqlash: ikki qavatli namlikka chidamli{1}}alyuminiy folga sumkasi + EPE yostiqli ko'pik + yog'och quti (ISPM-15 mos), IEC 60068-2-78.

Namlikdan himoya qiluvchi yorliq: IEC 60068-2-30 ga mos-namlikka chidamli + namlik indikator kartasi (RH 5% dan kam yoki unga teng).

MSDS/SDS: 16 ta standart boʻlimni oʻz ichiga olgan GHS 7-chi tahririga mos keladi, jumladan, chang portlash xavfi Zr (P201, P261, P304+340), OSHA 29 CFR 1910.1200. Yuk tashish yorlig'i: UN 1399 (-yonuvchan bo'lmagan qattiq metall) + korroziv moddalar.

Har bir quti quritgich paketi (silikagel) va namlikni qayd qiluvchini o'z ichiga oladi. Tashish davomida haroratni nazorat qilish: 5–30 daraja, nisbiy namlik 40% dan kam yoki unga teng.

TSS

Savol: Siz Zirkonyum Sputtering Target bo'yicha odatiy misollarni taqdim eta olasizmi?

Javob: TSMC, Samsung Electronics, Intel va SK Hynix kabi yarimo‘tkazgichlar ishlab chiqaruvchi jahonning o‘nta yirik kompaniyalari tsirkonyumdan bilvosita{0}}foydalanuvchilardir. Ularning ilg'or jarayonlari (5nm dan past bo'lgan tugunlar kabi) Zr702 maqsadlaridan metall to'siq qatlamlari, interfeys passivatsiyasi qatlamlari va Applied Materials Endura® va Lam Research Kiyo® kabi PVD uskunalari yordamida yotqizilgan o'zaro bog'liq tuzilmalar uchun keng qo'llaniladi. Shunday qilib, zirkonyum maqsadlari ommaviy ishlab chiqarish jarayonlarida asosiy funktsional materiallar sifatida kiritilgan.

LG Display, Samsung Display va First Solar kabi yetakchi xalqaro displey va fotovoltaik kompaniyalar OLED panel elektrodlarini qoplashda va CIGS quyosh batareyasining orqa elektrodlarini ishlab chiqarishda yuqori-tozalikdagi tsirkonyum nishonlaridan foydalanib, past qarshilikka, yuqori-barqaror metall yupqa plyonka cho‘kishiga, katta talablarga javob beradi. ishlab chiqarish.

Lockheed Martin, Boeing va Northrop Grumman kabi aerokosmik va mudofaa sohasidagi yuqori-ishlab chiqaruvchi kompaniyalar dvigatel qismlariga, issiqlikdan himoyalanish tizimlariga va radar yashirin tuzilmalariga qoʻllaniladigan yuqori{1}}harorat, korroziyaga{2}}bardoshli qoplamalarni PVD yotqizish uchun tsirkonyum nishonlaridan foydalanadi. Ularning xarid qilish standartlari qat'iy bo'lib, AS9100D sertifikatiga muvofiqlikni va ommaviy COA kuzatilishini talab qiladi.

Savol: Siz bank akkreditivlarini qabul qilasizmi?

Javob: Ha, biz xaridlar uchun to'lov usuli sifatida akkreditivlarni (L/C) qabul qilamiz. Iltimos, aloqada bo'ling.

Savol: Zirkonyumni sepish maqsadlari odatda ISO 9001, IATF 16949 va AS9100 tomonidan sertifikatlanganmi?

Javob: Ha, sanoat va yuqori{0}}ilovalar uchun tsirkonyumni püskürtme maqsadlari sohasida ISO 9001, IATF 16949 va AS9100D sertifikatlari universal va majburiy kirish standartlariga aylandi.

 

 

 

 

Issiq teglar: zirkonyum püskürtme maqsadi, Xitoy zirkonyum püskürtme maqsad ishlab chiqaruvchilar, etkazib beruvchilar, zavod